單晶硅拉制工安全操作規程
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- 更新時(shí)間： 2010年12月03日
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1.檢查好晶軸、坩禍軸的旋轉、升降是否靈活均勻。如果過(guò)緊時(shí)調節爐膛上的密封圈，緊固到不漏氣為準。若擰時(shí)不漏氣但旋轉升降不靈活均勻，則要更換密封圈。
2.真空泵運轉的方向應按規定的方向旋轉，否則可能引起機械泵油倒灌到擴散泵中去。若真空泵電動(dòng)機電源線(xiàn)有松掉或斷落現象時(shí)，應將真空泵和擴散泵連接的塑料管拉掉，調整電動(dòng)機旋轉方向。
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